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日前，浙江省科技厅公布了关于2021年度浙江省重点实验室责任期考核结果，经过未来实验室数字化平台数据填报、材料提交、省科技厅通过组织现场考察、专家评审相结合的方式进行考核，我院智能传感材料与芯片集成技术实验室以亮眼的成绩获评考核优秀！

智能传感材料与芯片集成技术实验室为我院首个获批的省重点实验室。自获批以来，科研实力稳步增强，近年来发表高水平论文100余篇，授权发明专利18项，实验室承担国家级和省部级科研项目22项，获得纵向科研经费超1.1亿元；通过技术服务、技术转让、联合攻关等形式，获得横向经费近400万元。

下一步，研究院将以绩效考评工作为契机，认真做好省级重点实验室的建设与运行工作，不断提升实验室的整体水平,增强创新核心竞争力。

实验室简介

浙江省智能传感材料与芯片集成技术重点实验室依托北京航空航天大学材料科学与工程学科进行建设，该学科在2016年教育部学科评估中为A+学科（与清华大学、武汉理工大学并列第一）。实验室以北航徐惠彬院士为首席科学家、邓元教授为实验室主任，是一支以“智能传感材料及智能微系统”为优势的创新型科研团队。

实验室现有科研人员67人，其中院士1人、杰青和长江学者1人、中组部青年千人2人，国家万人计划领军人才1人，科技部中青年创新领军人才1人，钱江特聘专家5人，博士占比80%以上。

实验室固定资产投资3600余万元，面积达到4000余平方米。实验室建设有300平米的百、千、万级洁净间以满足特殊设备和制备工艺对洁净度的要求。

浙江省智能传感材料与芯片集成技术重点实验室在国家和浙江省的科技发展方针指引下，围绕国家及地方的发展战略目标，瞄准“卡脖子”关键技术，引进北航优势学科资源，强化平台建设和人才引进工作，基于长期从事智能传感领域的研究基础，针对智能传感器的未来发展趋势，形成了四个基本研究方向：

方向一：智能传感材料与微型元器件

方向二：智能传感芯片设计与制造

方向三：智能传感系统与传感网络

方向四：“非硅基”微纳集成技术与装备

四个方向形成了从材料制备到智能芯片集成、再到系统化应用逐步递进、协同开发的全链条研究布局，提供了智能传感芯片制造和应用研究过程中的新集成技术和新装备支撑，为芯片生产工艺形成产线、成果对接企业提供了技术保证。

科研环境

规范整洁有序的实验环境

实验室坐落在美丽的白马湖畔，周边环境优雅、景色宜人。实验室内部建设整洁规范，设有展示区、实验区、办公区、交流区、休息区、洁净间等一应俱全，给科研人员提供了配置精良、宽松舒适的科研、学习、生活平台！

展示宣传

实验办公

分享交流

截止目前，实验室重点建设完成了新型薄膜材料规模制备平台、快速微加工技术服务平台、极端环境材料与器件服役性能评价平台，为智能传感技术与芯片集成技术的研究提供了重要的硬件支撑。

主要设备（抽选三个子平台代表性设备）

多功能薄膜沉积系统

光刻系统

纳米压痕仪

电导率贝克系数扫描探针

扫描电子显微镜

飞秒激光打印系统

大型共享仪器设备清单

为积极响应浙江省优化大型科研仪器资源配置的号召，实验室不断完善内部科研设施和仪器共享制度，现已面向社会和企业提供21台大型仪器开放共享服务。（具体可登录北航杭州研究院采购与资产管理系统http://yjy.statt.cn/#预约使用）