微电子与信息材料检测中心

材料特性与分析

扫描电镜（SEM）

提供微观形貌分析，能谱(点扫、线扫和Mapping)；喷金、液氮脆断、分散制样等；可现场测试/云视频

原子力显微镜（AFM）

基本形貌测试及其电学、压电、磁学或力学特性分析；开尔文探针KPFM、压电力显微镜PFM、静电力显微镜EFM、侧向力显微镜LFM、导电力显微镜CAFM、 磁力显微镜MFM；可现场测试/云视频

X射线衍射仪（XRD）

进行粉末、块体及薄膜的常规测试和物相分析，可做常规小角、广角、变温、掠入射、织构和残余应力；可现场测试/云视频

热电综合性能测试仪

Seebeck系数、电导率测试

薄膜热导率测试仪

可测量薄膜材料面内、面外热导率

扫描声学显微镜

无损检测器件内部裂纹、空洞、气泡、分层、杂质等

紫外-可见-近红外分光光度计

测试固体、薄膜、液体在紫外-可见-近红外光谱区的反射、透射及吸收曲线

微区反射率热成像电镜

测试器件表面温度分布、芯片表面热点与缺陷的失效分析、半导体器件瞬态热成像过程等

拉曼光谱仪（Raman）

提供常规测试及图形分析，支持355nm和532nm波长

光学接触角测量仪

静态接触角、动态接触角、液体表面张力/界面张力

环境与可靠性测试

温度-湿度-振动三综合试验箱

进行稳态湿热、高温寿命及耐湿测试

高低温冷热冲击箱

用于材料的冷热冲击测试

盐雾试验箱

执行标准的盐雾试验，用于评估材料的耐腐蚀性

太阳光模拟器

提供AAA级太阳光模拟环境，用于光伏设备测试

电子与电气性能测试

铁电分析仪

可测量铁电、压电、热释电性能

介电阻抗分析仪

可测量介电常数、介电损耗、阻抗

霍尔效应测试

可测量变温载流子浓度、霍尔迁移率、霍尔系数、I-V曲线、电阻、电阻率、片电阻、磁阻

电导率-塞贝克系数扫描探针显微镜

测量电导率和塞贝克系数，评估材料的热电特性均匀性

纳米压痕仪

划痕和磨擦磨损测试（载荷-位移曲线）、连续刚度测试（杨氏模量，硬度)

耐折寿命试验机

测试材料和设备的耐折寿命

高级材料制造与加工

飞秒激光打印系统

图形打印与微加工

多用途激光联合加工系统（可变频和铒激光器）

精准定位打标、材料精细切割加工、材料表面改性、生物软硬组织切割

CO₂激光雕刻机

图案激光雕刻

磁控溅射系统

图案化薄膜制备

电阻蒸发镀膜机

图案化薄膜制备

高精度无掩膜光刻系统

进行激光直写光刻，用于精细加工

微型元件封装系统

微小元件组装、焊接、点胶机、固晶机、高温氮气回流焊等

微电子打印机

电路、微结构打印

高精密丝网印刷机

精密图案丝网印刷

减薄机

硅片，锗片、砷化镓等晶体材料的减薄

抛光机

材料的单面抛光

内圆切割机

高精度金属、陶瓷、半导体薄片切割